高頻加速度傳感器工作原理會(huì)根據(jù)主體與慣性質(zhì)體相對(duì)移動(dòng)的檢測方式的不同而有所差異。電容式傳感器，主體與慣性質(zhì)體是相互絕緣的，通過測量電容來檢測加速度。當(dāng)主體與慣性質(zhì)體之間的距離減小時(shí)，電容就會(huì)增加，電流會(huì)向傳感器的信號(hào)處理IC流動(dòng)。距離增加時(shí)，情況則會(huì)相反。傳感器可將主體的加速度轉(zhuǎn)化為電流、電荷、電壓三者之一從而進(jìn)行測量。傳感器元件元件內(nèi)部有多個(gè)質(zhì)量塊，這些通過分散MEMS技術(shù)加工出的質(zhì)量塊被晶元表面周圍的扭轉(zhuǎn)彈簧支撐著。與表面MEMS工藝相比，厚度和重量都更大，從而可以實(shí)現(xiàn)高靈敏度和低噪音。

　　高頻加速度傳感器測量頻率范圍:

　　是指傳感器在規(guī)定的頻率響應(yīng)幅值誤差內(nèi)傳感器所能測量的頻率范圍。頻率范圍的高，低限分別稱為高，低頻截至頻率。截至頻率與誤差直接相關(guān)，所允許的誤差范圍大則其頻率范圍也就寬。作為一般原則，傳感器的高頻響應(yīng)取決于傳感器的機(jī)械特性，而低頻響應(yīng)則由傳感器和后繼電路的綜合電參數(shù)所決定。高頻截止頻率高的傳感器必然是體積小，重量輕，反之用于低頻測量的高靈敏度傳感器相對(duì)來說則一定體積大和重量重。